產(chǎn)品資料
超高真空切換高清潔型高精度大氣門(mén)閥
產(chǎn)品名稱(chēng): 超高真空切換高清潔型高精度大氣門(mén)閥
產(chǎn)品型號(hào):
產(chǎn)品特點(diǎn): 超高真空切換高清潔型高精度大氣門(mén)閥高清潔 · 大氣門(mén)閥 · PVD/CVD/ALD/PECVD · 刻蝕 · 真空 ≤1×10?? Pa0-180 °C · ±0.1 mm · 真空 ≤1×10?? Pa · 重量 2.1 kg · 5 年壽命
超高真空切換高清潔型高精度大氣門(mén)閥 的詳細(xì)介紹
超高真空切換高清潔型高精度大氣門(mén)閥
超高真空切換高清潔型高精度大氣門(mén)閥高清潔 · 大氣門(mén)閥 · PVD/CVD/ALD/PECVD · 刻蝕 · 真空 ≤1×10?? Pa
0-180 °C · ±0.1 mm · 真空 ≤1×10?? Pa · 重量 2.1 kg · 5 年壽命
一、產(chǎn)品定位
- 高清潔型：Class 100，無(wú)油、無(wú)顆粒，PVD/CVD/ALD/PECVD 兼容
- 大氣門(mén)閥：大氣 ? 真空切換，刻蝕、沉積、離子注入
- PVD/CVD/ALD/PECVD/刻蝕：真空 ≤1×10?? Pa，0-180 °C，±0.1 mm
- VTEX 系列：0-180 °C，±0.1 mm，真空 ≤1×10?? Pa，5 年壽命
二、核心技術(shù)參數(shù)（VTEX 系列）
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 類(lèi)型 | 高清潔型大氣門(mén)閥 |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（全范圍） |
| 溫度范圍 | 0 – 180 °C（全范圍） |
| 位置精度 | ±0.1 mm（閉環(huán)控制） |
| 潔凈等級(jí) | Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft3） |
| 接觸材料 | 316L + PTFE + 藍(lán)寶石（密封） |
| 真空接口 | NW16（可轉(zhuǎn) NW25/NW40） |
| 電源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm，2.1 kg |
| 壽命 | 5 年（連續(xù)運(yùn)行） |
三、功能亮點(diǎn)
- ≤ 1×10?? Pa 超高真空：全范圍真空兼容，PVD/CVD/ALD/PECVD 兼容
- 0-180 °C 全溫度：0-180 °C 全溫度，PVD/CVD/ALD/PECVD 兼容
- ±0.1 mm 高精度：閉環(huán)控制，±0.1 mm 高精度，晶圓級(jí)精度
- Class 100 高清潔：0.3 µm ≤ 100 pc/ft3，Class 100 高清潔
- 2.1 kg 超輕：A5 底面積，可手提移動(dòng)，實(shí)驗(yàn)室即用
- 5 年壽命：高清潔密封，5 年免維護(hù)
四、典型應(yīng)用系統(tǒng)
半導(dǎo)體 PVD/CVD/ALD/PECVD┌─ 真空腔體 ─┐│ │閥← VTEX ← 真空饋通 NW16│ │└─ 回大氣 ────┘- 真空度 ≤ 1×10?? Pa，0-180 °C，±0.1 mm 精度
- RS-485 實(shí)時(shí)輸出，PLC 閉環(huán)控制
五、實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)（PVD/CVD/PECVD 驗(yàn)證）
- 真空：1×10?? Pa，25 ℃
- VTEX：
- 真空度 ≤ 1×10?? Pa（全范圍）
- 溫度 180 °C（±0.1 mm）
- 壽命 5 年（連續(xù)運(yùn)行）
六、選型與配件
| 件號(hào) | 說(shuō)明 |
|---|---|
| VTEX-16 | NW16 標(biāo)準(zhǔn)型 |
| VTEX-25 | NW25 大口徑型 |
| VTEX-RS485 | RS-485 輸出（標(biāo)準(zhǔn)） |
| VTEX-HEATER | 180 °C 加熱套件（可選） |
七、維護(hù)與可靠性
- 密封：5 年壽命，免維護(hù)
- 真空饋通：每月清潔一次
- 電源：年漂移 < 0.1 %，無(wú)需校準(zhǔn)
- 整機(jī) 2 年質(zhì)保，10 年配件保障
八、結(jié)論
VTEX 高清潔型大氣門(mén)閥以「≤1×10?? Pa 超高真空 + 0-180 °C 全溫度 + ±0.1 mm 高精度 + Class 100 高清潔」四合一設(shè)計(jì)，讓半導(dǎo)體 PVD/CVD/ALD/PECVD/刻蝕獲得「高清潔、高精度、長(zhǎng)壽命」大氣門(mén)閥，是大氣門(mén)閥的「半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)機(jī)」
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