小型加壓供油真空排氣用回轉(zhuǎn)泵

小型加壓供油真空排氣用回轉(zhuǎn)泵

真空排氣專用 · 加壓供油 · 小型 · 低振動(dòng)
5-28 m3/h · 極限 0.5 Pa · 重量 16-46 kg · 并排/移動(dòng)安裝

一、產(chǎn)品定位

• 真空排氣專用：半導(dǎo)體、LED、分析儀器、實(shí)驗(yàn)室前級(jí)真空
• 加壓供油：內(nèi)置齒輪泵強(qiáng)制潤滑，高負(fù)荷連續(xù)運(yùn)行不卡死
• 小型低振動(dòng)：16 kg 起，底面積 A4-A3，可放通風(fēng)櫥/移動(dòng)車
• EM·RV 系列：EM 經(jīng)濟(jì)型，RV 重載型，同頁選型

二、核心技術(shù)參數(shù)（EM·RV 系列）

三、功能亮點(diǎn)

1. 0.5 Pa 極限：比同級(jí)泵極限低 50 %，適合高真級(jí)
2. 加壓供油：0.3 MPa 強(qiáng)制循環(huán)，24 h×365 d 連續(xù)運(yùn)行不卡死
3. 小型低振動(dòng)：16 kg 起，底面積 A4-A3，可手提移動(dòng)
4. 空冷無水管：并排安裝，產(chǎn)線無需冷卻水改造
5. < 2.3 m/s2 低振動(dòng)：可直接放樓層/潔凈室，無需地基減振
6. ≤ 58 dB 低噪音：比水冷泵低 10 dB，24 h 運(yùn)行不擾人

四、典型應(yīng)用系統(tǒng)

半導(dǎo)體前級(jí)真空┌─ 工藝腔體 ─┐│               │進(jìn)口← EM-10 ← 粉塵過濾器（可選）│               │└─ 回大氣 ─────┘

• 泵進(jìn)口接工藝腔體，0.5 Pa 極限，抽氣時(shí)間縮短 30 %
• 粉塵過濾器捕集微粒，延長泵壽命

五、實(shí)測數(shù)據(jù)（實(shí)驗(yàn)室驗(yàn)證）

• 工藝腔體 50 L，室溫 25 ℃
• EM-10 50 Hz 運(yùn)行：
• 2 min 達(dá)到 10 Pa
• 5 min 極限 0.5 Pa
• 連續(xù) 8 h 油溫 <70 ℃，無冷卻水
• 振動(dòng) < 2.3 m/s2（天平無漂移）

六、選型與配件

七、維護(hù)與可靠性

• 油：VG-68 高耐磨，每 3,000 h 更換
• 加壓油泵：齒輪泵，壽命 >30,000 h，免維護(hù)

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