半導體制造測量超微量濃度監測水分計

產品名稱: 半導體制造測量超微量濃度監測水分計

產品型號: Falcon Trace系列

產品特點: 半導體制造測量超微量濃度監測水分計
小型尺寸：采用直徑為3.3毫米的壓電水晶球，使得設備體積小巧。
高靈敏度測量：能夠按指令測量ppmv或ppbv級別的微量水分。
快速測量：使用10nm厚的敏感膜，測量時間小于1秒或小于30秒。

半導體制造測量超微量濃度監測水分計 的詳細介紹

半導體制造測量超微量濃度監測水分計
半導體制造測量超微量濃度監測水分計

小型尺寸：采用直徑為3.3毫米的壓電水晶球，使得設備體積小巧。
高靈敏度測量：能夠按指令測量ppmv或ppbv級別的微量水分。
快速測量：使用10nm厚的敏感膜，測量時間小于1秒或小于30秒。
彈性表面波（SAW）技術：利用交叉狀電極（IDT：Inter Digital Transducer）在表面產生彈性波，對小球赤道上噴涂的感應膜的輕微變化做出反應，實現高靈敏度傳感。
應用優勢：適合各種測量應用，配備功能系列，實現傳感器單元的小型化。高靈敏度且范圍寬，即使微量的水也能檢測出。高速檢測利用厚度僅為10nm的感應膜，實現的高速檢測。實時控制對難以控制的水含量進行實時控制。
實時監測：響應速度極快，可實時監測含水量變化，可測量含水量和背景氣體成分分析兩項。
精確測量：氣體中的水濃度可以精確測量到1ppb（十億分之一）的水平。

這些特點使得Falcon Trace系列水分計在半導體制造、蓄電池制造、工業煤氣制造等領域有著廣泛的應用。

小型尺寸：采用直徑為3.3毫米的壓電水晶球，使得設備體積小巧
。
高靈敏度測量：能夠按指令測量ppmv或ppbv級別的微量水分
。
快速測量：使用10nm厚的敏感膜，測量時間小于1秒或小于30秒
。
彈性表面波（SAW）技術：利用交叉狀電極（IDT：Inter Digital Transducer）在表面產生彈性波，對小球赤道上噴涂的感應膜的輕微變化做出反應，實現高靈敏度傳感
。
應用優勢：適合各種測量應用，配備功能系列，實現傳感器單元的小型化
。高靈敏度且范圍寬，即使微量的水也能檢測出
。高速檢測利用厚度僅為10nm的感應膜，實現的高速檢測
。實時控制對難以控制的水含量進行實時控制
。
實時監測：響應速度極快，可實時監測含水量變化，可測量含水量和背景氣體成分分析兩項
。
精確測量：氣體中的水濃度可以精確測量到1ppb（十億分之一）的水平
。