日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計多離子規

在將常規方法的多種原理組合到一個外殼中的復雜真空計中，“單個手寫筆需要*更換手寫筆”，“手寫筆很復雜且容易出現故障”和“手寫筆”我經常聽到客戶的反饋，例如“昂貴”。
這種方法可以進行寬帶測量，顯著降低運行成本，并支持低環境負荷。

GMi系列的特點

• 廣域測量可以測量
  從大氣壓到高真空區域（10 ⁵至5 x 10 ^-8 Pa）（當同時使用GPM和GAM時）
• 可以連接不同測量范圍的放大鏡
  通過采用多離子規，可以根據應用選擇測針
• 準確的大氣壓測量可以
  輕松，準確地確認大氣壓（使用GAM時）
• 支持低環境負荷由于
  只能根據需要更換觸控筆，因此可以降低運行成本。
• 
  配備可檢查異常情況的LED，以提高可見度
• 
  易于更換可維護的手寫筆
• 每種模式規格（組合模式）
  GMi + GPM（離子計+吡喃計）
  GMi + GPM + GAM（離子計+吡拉尼計+大氣壓傳感器）
• 測量值輸出信號
  壓力為0至10V輸出（對數輸出）
• 控制輸出信號可以進行
  3點設定值輸出（GMi-1）
• 可以進行串行通訊規格
  RS232C / RS485通訊（GMi-2）
• 符合標準
  CE標準對應

用

• 用于各種制造設備（例如太陽能電池，FPD，半導體和電子零件）的高真空區域中的過程控制
• 通過串聯型和單晶圓型等多個處理室，確認各種制造設備的高真空區域的極限壓力
• 高真空/超高真空設備的壓力測量

規范

每種模式規格

GMi-1 / GMi-2可以從三種使用類型中選擇：多離子表單模，帶吡拉尼表的組合模式以及帶吡拉尼表和大氣壓傳感器的三重組合模式。

模式	GMi-1 / GMi-2 獨立模式	GMi-1 / GMi-2 + GPM 組合模式	GMi-1 / GMi-2 + GPM + GAM 組合模式
測量壓力范圍	5×10 -8?1 ×10 1帕	5×10 -8?1 ×10 4帕	5×10 -8?1 ×10 5帕
測量精度	5×10 -8至1×10 1 Pa±15％	5×10 -8?1×10 3帕：±15％ 1×10 3?3.0×10 3帕：±30％ 3.0×10 3?1.0×10 4帕：沒有精度保證	5×10 -8?1×10 3帕：±15％ 1×10 3?3.0×10 3帕：±30％ 3.0×10 3 ?1.0×10 4帕：沒有精度保證 1.0×10 4?1.0× 10 5 Pa：±3％FS  （3 x 10 3 Pa，參考溫度25°C）
重復精度	1 x 10 -6至1 x 10 -1 Pa：Pa±2％
接線圖（示例）

外形尺寸

單位：mm 
*規格或建議零售價如有變更，恕不另行通知。

日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計多離子規